PCM测试系统(美国KEITHLEY 2612B)
位 置:半导体工艺与集成电路测试实验室III(A2-107)
负责人:王莉 84832236
PCM测试系统 测试结果
设备简介:
PCM(Progress Controland Monitor)工艺过程监控,是半导体制造过程中的一个重要的环节。它主要是对制造过程中的集成电路或者器件芯片的电参数进行测量,反映出产品在制作过程中是否符合工艺要求以及存在哪些质量问题,主要应用研究方向为晶圆的测试,探针台关键参数研究。在基于FPGA的通用PCM测试系统设计等方向开展科研,已经取得的主要成果包括半导体芯片PCM测试技术的应用研究等。