PCM测试系统（美国KEITHLEY 2612B）

        位  置：半导体工艺与集成电路测试实验室III（A2-107）

        负责人：王莉 84832236

                                                          PCM测试系统                                                                                                                            测试结果

设备简介：

        PCM（Progress Controland Monitor）工艺过程监控，是半导体制造过程中的一个重要的环节。它主要是对制造过程中的集成电路或者器件芯片的电参数进行测量，反映出产品在制作过程中是否符合工艺要求以及存在哪些质量问题，主要应用研究方向为晶圆的测试，探针台关键参数研究。在基于FPGA的通用PCM测试系统设计等方向开展科研，已经取得的主要成果包括半导体芯片PCM测试技术的应用研究等。