晶圆探针测试台(美国SIGNATONE S-250-5)
位 置:半导体工艺与集成电路测试实验室II(A2-110a)
负责人:曹海燕 84832236
晶圆探针测试台
设备简介:
晶圆探针测试台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。主要应用研究方向晶圆的测试,探针台关键参数研究。已经取得的主要成果包括大直径探针台的晶圆自动传输系统,一种探针台自动定位方法的研究与实现等。